产品详情
  • 名称: 碳化硅涂层单晶炉热场

  炭/陶热场产品具有低成本、抗侵蚀、长寿命等特点,主要用于材料(例如:单晶硅或多晶硅)的熔融、提纯等领域。
  其中,单晶硅拉制炉用炭/陶坩埚已累计生产不同规格(20、22、24吋)产品600余件,保证了产品批次的稳定性,使用寿命比传统炭/炭坩埚提高30%左右。
  炭/陶及进行碳化硅涂层处理过的石墨产品具有耐高温、质量轻、强度高等特点,可承受2000℃高温。经碳化硅涂层的石墨产品耐高温、耐化学腐蚀、废气及粉尘产生量小。
  超码提供炭/陶材料产品与碳化硅涂层的研发、设计与制造,可应用于单晶硅拉制炉、硅外延设备、MOCVD设备。
  产品包括:单晶硅直拉炉用坩埚、热屏外胆、埚帮、盖板等,LED外延用碳化硅涂层石墨基座,有色金属冶炼用炭/陶坩埚,电子封装用碳化硅涂层石墨板。