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炭/炭坩埚
用途:支撑石英玵涡及熔融多晶硅料,提拉熔融多晶硅料制备单晶硅
坩埚
单晶硅
多晶硅
熔融
炭/炭外导流筒
单晶硅拉制炉内重要部件,在热场系统中主要起到隔热、导流的作用
导流
拉制
炭/炭保温筒
用途:用千单晶硅拉制炉内, 主要起支撑及隔热作用
保温
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